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真空蝶阀是一种用于真空系统中的关键设备,其技术原理基于蝶阀的旋转运动来控制流体的通断或流量。它采用特殊的密封材料和结构设计,确保在真空环境下具有良好的密封性能和耐腐蚀性。,,在应用领域方面,真空蝶阀广泛应用于半导体、...